SR Mask Inspection
스크린 마스크 검사 설비, 스크린 마스크의 Pin Hole, 이물 또는 Mask의 유재파손 등을 검사한다.
PERFORMANCE
MES와 연동하여 현재 검사하는 Mask 정보 전송하여 MES에서 이력 관리 용이, FTP 서버를 통한 Mask의 dxf 파일 가져옴, 개별 패턴 도면, Mask 전체 도면 호환, Pinhole과 비유재면은 51.6um 까지 보증하며 최대 25.8um까지 검출 가능, 유재면과 비유재면 파손검출력은 ±100um 까지 검출 가능, 450mm * 450mm 사이즈의 패턴 48개 기준으로 MAX 5분 이내 검출 가능