리스광시스템

Optical Module

Telecentric Lens
Infinity Corrected System
Laser Module
Optical Module
LED Illumination

Optical Module

Semiconductor Probe Wafer의 정상 유무를 Test하는 Probe 설비에 사용되는 광학계이며, Wafer 검사 광학계와 Needle 검사용 광학계 세트로 구성됩니다.

Semiconductor Probe
Line Scan
Microscopy
Dual View Module
Display Probe

CHUCK SPEC

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Chuck Camera	0.9X	Coaxial / Ring	19.1	0.04	7.6	15.62	±0.55
Chuck Camera	14X	Coaxial	10.46	0.33	0.93	1.55	±4.3

BRIDGE SPEC

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Bridge Camera	0.6X	Coaxial / Ring	19	0.025	12.5	27.8	±1300
	8.5X	Coaxial / Ring	18.8	0.2	1.53	1.95	±11.7
	15.2X	Coaxial / Ring	19	0.2	1.53	1.75	±6.6

Needle Camera SPEC

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Needle Camera	1X	Coaxial / Ring	15.2	0.05	6.1	22.08	±400
Needle Camera	10X	Coaxial	10	0.32	0.96	2.19	±6.2

Wafer Camera SPEC

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Wafer Camera	1X	Coaxial	13.67	0.06	5.1	22.08	±333.3
Wafer Camera	5X	Coaxial	13.67	0.21	1.46	4.36	±19

Card Camera

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Card Camera	0.88X	Coaxial / Ring	17	0.04	8.38	10	±500
Card Camera	13.6X	Coaxial	10	0.33	1.01	0.64	±3.9

Wafer Camera

Model	Magnification	Illumination	WD (mm)	NA	Resolution Calculation	Resolution Monitor	D.O.F(um)	Download
Wafer Camera	0.55X	Coaxial / Ring	6	0.028	11.98	16	±1140
	6.2X	Coaxial / Ring	6	0.23	1.45	1.41	±12.3
	16.2X	Coaxial / Ring	6	0.23	1.45	0.54	±4.7

Model	Magnification	WD (mm)	F/Number	MAX Sensor Size (mm)	Optical Maximum Distortion
LOS- 8K- 1.0X	1.0X	200	12.5	56	< 0.05%
LOS- 8K- 2.0X	2.0X	140	16.67	56	< 0.05%
LOS- 12K- 0.7X	0.7X	257	10	90	< 0.11%
LOS- 12K- 1.4X	1.4x	170	14	60	< 0.03%

Magnification	WD (mm)	Resolution (40 lp/mm)	F/Number	F.O.V(mm)	Optical Distortion(%)	Relative Illumination(%)	BFL(mm)	Total Track Length(mm)
0.17X	549.0	> 38%	3.00	381	0.55	75	51.7	811.7
0.18X	516.4	> 47%	3.02	360	0.62	76	52.7	780.1
0.19X	448.4	> 48%	3.03	341	0.68	76	53.7	753.1
0.2X	463.0	> 46%	3.05	324	0.74	76	54.7	728.7
0.21X	440.0	> 45%	3.07	308	0.80	77	55.6	706.6
0.22X	419.0	> 44%	3.09	294	0.86	78	56.6	686.6
0.23X	399.8	> 38%	3.11	281	0.92	78	57.5	668.3
0.24X	380.0	> 27%	3.13	270	0.98	80	58.6	649.6

Semiconductor Probe
Line Scan
Microscopy
Dual View Module
Display Probe


Confocal Microscopy 2D이미지를 적층하여 3D이미지로 구성하고, D.O.F 없는 이미지를 가져 단층 촬영에 적합한 광학계 입니다. 초점이 맞지 않는 빛들은 Confocal Aperture를 통해 차단시키고, 초점이 맞는 빛만 Detector를 통해 받아들여 Contrast 차이를 증가 시킵니다. 이로 인해 전체적인 Resolution이 향상 되며, 기존 현미경에서 나타나는 Flare 현상을 제거합니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
A18059-A000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
A18059-A000-R01	5X	2.48 x 1.96	10X	50.5	20	1.46	±5.19	0.23	0.5X	100	0.07	< 0.43%	< 0.43%


IR Microscopy IR을 주요 파장대로 사용하는 Microscopy로 LD, VCSEL 검사 시 사용됩니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
A18030-B000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
A18030-B000-R01	100X	0.096 x 0.0768	100X	10	2	0.4	±0.6	0.7	1.0X	200	0.03	< 0.002%	12


DIC Microscopy 빛의 간섭을 통해 보고자 하는 이미지의 Contrast를 극대화하며 2D 이미지를 3D 이미지처럼 변경해 주는 현미경 입니다. 편광 된 빛을 Nomarski Prism을 사용하여 특정 각도의 빛으로 전환시키고 빛의 간섭을 일으켜 측광처럼 사용되며, 위상차 현미경과 달리 후광의 의한 광학노이즈가 발현되지 않습니다. 시료의 표면 굴곡과 경계면을 강조 해주기 때문에 물체 표면 검사, 굴절률 변화를 쉽게 관찰 할 수 있어 압흔 검사에 주로 사용됩니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
LP13087-R04-M000	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	10X	2.8	10X	6.5	18	0.91	±3	0.3	1.0X	180	0.033	< 0.1%	28
	18.8X	2.14	10X	6.5	18	0.91	±3	0.3	1.88X	340	0.017	< 0.16%	40


Autofocus Microscopy 자사 CVMS가 기본 구성이 되며, ATF Module을 추가 적용한 광학계 입니다. S/W를 통해 UI를 구성하여 Auto Focus 기능을 탑재 하였으며, ATF 이외에 다양한 어플리케이션 적용이 가능하기 때문에 고객 요청에 따라 Customizing 가능합니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
A20009-A000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
A20009-A000-R01	100X	0.88 x 0.66	10X	50.5	20	1.46	±5.19	0.23	1.0X	200	0.03	< 0.12%	11


Fluorescence Microscopy 형광현미경은 UV를 광원으로 사용하여 시료를 조사하고 각 시료 마다 발광하는 형광 특성을 관찰하는 광학계 입니다. 주로 OLED Panel, 유기화합물 등의 시료 검사 용으로 많이 사용 되어 지며, 기본 구성 이외에 ATF, LLC, Filter 등의 어플리케이션을 추가 적용하여 고객 니즈에 맞게 Customizing 가능합니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
A20026-A000-R02	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	3.75X	3.00 x 3.00	5X	23.5	40	2	±12.22	0.15	0.75X	150	0.04	< 0.08%	16
	40X	0.28 x 0.28	20X	20.5	5	0.95	±2.24	0.35	2.0X	400	0.015	< 0.13%	16

Semiconductor Probe
Line Scan
Microscopy
Dual View Module
Display Probe


Dual Tube Dual Tube Module은 두개 이상의 Tube Lens와 한 개 이상의 Camera를 적용하여 여러 배율의 현미경 광학계를 구성 합니다.

Model	Total system		OBJECTIVE LENS						TUBE LENS					Download
LP15078-R03-M000	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	10X	0.84 x 0.70	20X	20	10	0.7	±1.6	0.42	0.5X	100	0.06	< 0.11%	11
	20X	0.42 x 0.35	20X	20	10	0.7	±1.6	0.42	1.0X	200	0.03	< 0.08%	11
A18031-D000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	-	-	-	-	-	-	-	-	0.5X	100	0.07	< 0.43%	15
	-	-	-	-	-	-	-	-	1.0X	200	0.03	< 0.08%	11
A18034-D000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	2.5X	3.37 x 2.82	5.0X	34	40	2	±14	0.14	0.5X	100	0.06	< 0.11%	11
	10X	0.84 x 0.70	5.0X	34	40	2	±14	0.14	2.0X	400	0.012	< 0.1%	11
A18035-B000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	2.5X	3.37 x 2.82	5.0X	34	40	2	±14	0.14	0.5X	100	0.06	< 0.11%	11
	10X	0.84 x 0.70	5.0X	34	40	2	±14	0.14	2.0X	400	0.012	< 0.1%	11
A19035-A001-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	-	-	-	-	-	-	-	-	0.55X	110	0.054	0.08%	11
	-	-	-	-	-	-	-	-	1.0X	200	0.03	< 0.04%	9
A19082-B001-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	-	-	-	-	-	-	-	-	1.0X	200	0.03	< 0.12%	16
	-	-	-	-	-	-	-	-	1.5X	300	0.02	< 0.12%	16
A19095-B000-R01	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	1.265X	5.71 x 4.29	2.3X	21.3	86.96	4.9	±57.8	0.069	0.55X	110	0.054	< 0.06%	9
	2.3X	3.14 x 2.36	10X	50.5	20	1.46	±5.19	0.23	1.0X	200	0.03	< 0.03%	9
	5.5X	1.31 x 0.98	20X	25	10	0.95	±2.2	0.35
	10X	0.72 x 0.54
	11X	0.65 x 0.49
	20X	0.36 x 0.27
A20052-A000-R02	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	-	-	-	-	-	-	-	-	0.55X	110	0.054	< 0.06%	7.2
	-	-	-	-	-	-	-	-	0.75X	150	0.04	< 0.02%	16
U-DTMS-1101-R02-00	Mag	FOV (mm)	Mag	WD (mm)	Focal length(mm)	Resolution (μm)	D.O.F (μm)	NA	Mag	Focal length(mm)	Image space NA	Distortion	Sensor size (mm)
	5X	0.84 x 0.70	10X	33.5	20	1.2	±3.5	0.28	0.5X	100	0.06	< 0.11%	8
	20X	0.42 x 0.35	10X	33.5	20	1.2	±3.5	0.28	2.0X	400	0.015	< 0.08%	8


Dual Magnification Dual Magnification Module은 Telecentric Lens를 적용하여 동일한 크기의 시료를 2가지 배율로 관찰 할 수 있습니다.

Model	Optical magnification	WD(mm)	Illumination type	Depth of field (mm)	Resolution (um)	NA	Paraxial Working F/#	F.O.V.(mm)	Mount	Download
LP11025-R02-M00	0.5X	160	Coaxial	± 0.88	7.45	0.045	5.6	1/2" Sensor : 6.4 x 4.8, 1/3" Sensor : 4.8 x 3.6	C-mount
LP11025-R02-M00	2.5X	160	Coaxial	± 0.17	7.45	0.045	27.8	1/2" Sensor : 2.13 x 1.6, 1/3" Sensor : 1.6 x 1.2	C-mount
A18042-A000-R01	1X	340	Coaxial	± 0.066	6.71	0.05	10	1/2.3" Sensor : 6.4 x 4.6	C-mount
A18042-A000-R01	3X	340	Coaxial	± 0.022	6.71	0.05	30	1/2.3" Sensor : 2.1 x 1.5	C-mount


Up/down View Up/Down View Module은 하나의 CCD로 상/하 에 존재하는 Align Mark의 Overlap된 이미지를 획득 할 수 있습니다. 주로 상/하부 Bonding Align 시에 사용됩니다.

Model	Optical magnification	WD(mm)	D.O.F(mm)	Resolution (um)	NA	Paraxial Working F/#	F.O.V.(mm)	Mount	Download
A20038-A000-R01	3.0X	UP 3~4, DOWN 13~14	±0.066	3.4	0.1	15	2/3" Sensor : 2.8 x 2.3	C-mount
A20065-A000-R01	2.55X	5	±0.027	3.36	0.1	12.7	4/3" Sensor : 6.0 x 6.0	C-mount

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