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Micro Bubble Detecting 설비
미세 Bubble 의 Cycle 별 유량 변화 및 Inspection, 개수 Counting 을 통한 불량을 검출한다
PERFORMANCE
Bubble의 Size 별 Count Graph, Image 획득 및 저장을 통한 설비 불량 검사
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형광현미경
LED/OLED 유기화학 시료 검사용 모듈, 유기 시료의 위치와 기준 위치의 틀어짐 정도를 검사
PERFORMANCE
독자적인 검사 Algorithm을 사용하여 빠르게 검사 가능, UV와 White를 동시 조사 하여 검사 시간을 단축
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WIQC
주문형 Wafer 검사용 설비, Wafer 내의 특정 검사가 가능하다. Align 및 PMI 검사가 가능하다.
PERFORMANCE
Laser AutoFocus를 이용하여 100ms 이내 AF 완료, Lens Changer로 배율 조합 가능. 최대 4개의 대물렌즈 장착 가능, 6" ~ 12" Wafer 호환
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Wafer Vision Align System
Wafer Film Cutting 설비에 포함된 모듈이다. Wafer의 3점을 이용하여 중심점을 찾는다. 중심점의 위치를 모설비에 전달한다.
PERFORMANCE
8", 12" Wafer 호환, 8분할 돔 조명 적용으로 해당 방향의 조명 제어 가능, Dialog DLL 형식으로 개발자의 Dialog에 적용 가능
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MGV
대형 반도체 패널 Foup 이송 설비, Loader에서 Shelf 또는 다른 설비의 Loader로 이송시키는 장비
PERFORMANCE
이송 시 전방 시야 확보를 위한 CCTV 적용 및 센서 적용으로 충돌 방지, 특정 위치 User Set 기능으로 Foup의 위치에 상관 없이 자동으로 Loading, Unloading 가능
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OCR 검사기
음각 면에 대한 OCR 검사 모듈, Compact한 사이즈로 공간 활용 적합
PERFORMANCE
모듈 사이즈 : 150mm * 160mm * 70mm, DLL로 SW를 제공하여 모설비에서 직접 운용, Camera간의 간격 조절 가능
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