[SI] 시스템소개 1 페이지

Micro Bubble Detecting 설비

미세 Bubble 의 Cycle 별 유량 변화 및 Inspection, 개수 Counting 을 통한 불량을 검출한다

PERFORMANCE Bubble의 Size 별 Count Graph, Image 획득 및 저장을 통한 설비 불량 검사

형광현미경

LED/OLED 유기화학 시료 검사용 모듈, 유기 시료의 위치와 기준 위치의 틀어짐 정도를 검사

PERFORMANCE 독자적인 검사 Algorithm을 사용하여 빠르게 검사 가능, UV와 White를 동시 조사 하여 검사 시간을 단축

WIQC

주문형 Wafer 검사용 설비, Wafer 내의 특정 검사가 가능하다. Align 및 PMI 검사가 가능하다.

PERFORMANCE Laser AutoFocus를 이용하여 100ms 이내 AF 완료, Lens Changer로 배율 조합 가능. 최대 4개의 대물렌즈 장착 가능, 6" ~ 12" Wafer 호환

Wafer Vision Align System

Wafer Film Cutting 설비에 포함된 모듈이다. Wafer의 3점을 이용하여 중심점을 찾는다. 중심점의 위치를 모설비에 전달한다.

PERFORMANCE 8", 12" Wafer 호환, 8분할 돔 조명 적용으로 해당 방향의 조명 제어 가능, Dialog DLL 형식으로 개발자의 Dialog에 적용 가능

MGV

대형 반도체 패널 Foup 이송 설비, Loader에서 Shelf 또는 다른 설비의 Loader로 이송시키는 장비

PERFORMANCE 이송 시 전방 시야 확보를 위한 CCTV 적용 및 센서 적용으로 충돌 방지, 특정 위치 User Set 기능으로 Foup의 위치에 상관 없이 자동으로 Loading, Unloading 가능

OCR 검사기

음각 면에 대한 OCR 검사 모듈, Compact한 사이즈로 공간 활용 적합

PERFORMANCE 모듈 사이즈 : 150mm * 160mm * 70mm, DLL로 SW를 제공하여 모설비에서 직접 운용, Camera간의 간격 조절 가능

Via Hole Inspection 설비

PCB의 Laser Hole 검사 측정 설비. Laser Hole과 Pad 사이의 거리를 측정 하여 불량을 검사한다. Via Hole과 Pad의 4방향의 거리를 측정하여 결과 전달

PERFORMANCE User Set으로 검사 Spec 설정, 개체 별, PCB원판 별 Via hole 검사 개수 조절 가능, 이미지 AF 기능을 이용하여 플랙시블 PCB 검사 가능, 2.5X(이송), 15X(검사) 렌즈를 분리하여 User가 원하는 위치 이송 편의 제공

DFR LAMI

TPC 필름 형태의 제품의 합착 결과를 실시간으로 확인 하는 검사 System. 상단과 하단의 합착 결과를 확인 할 수 있다.

PERFORMANCE 합착 필름의 치우침을 실시간으로 확인 가능, 합착 필름의 실시간으로 거리를 확인 가능, X, Y축에 Stage가 장착 되어 미세 조정 가능

SR Mask Inspection

스크린 마스크 검사 설비, 스크린 마스크의 Pin Hole, 이물 또는 Mask의 유재파손 등을 검사한다.

PERFORMANCE MES와 연동하여 현재 검사하는 Mask 정보 전송하여 MES에서 이력 관리 용이, FTP 서버를 통한 Mask의 dxf 파일 가져옴, 개별 패턴 도면, Mask 전체 도면 호환, Pinhole과 비유재면은 51.6um 까지 보증하며 최대 25.8um까지 검출 가능, 유재면과 비유재면 파손검출력은 ±100um 까지 검출 가능, 450mm * 450mm 사이즈의 패턴 48개 기준으로 MAX 5분 이내 검출 가능

6속 검사기

자동차 6속 미션 부품 검사 모듈, 크랙과 흠집, 파손을 검사하기 위한 Vision System

PERFORMANCE 불량 검출 200um 이상 검출, PLC 연동 통신, 딥러닝 자료 수집용 SW

볼트체결기

전기 자동차 베터리 조립 설비, 베터리 Case 고정을 위한 볼트 위치 전달, PLC 기반의 기존 설비 개조 및 공정 개선 모듈

PERFORMANCE 볼트의 유무 확인, PLC 통신으로 Seq. 구성

Manifold Inspection

전기 자동차 베터리 조립 설비, 베터리의 Manifold 체결을 위한 위치 전달, PLC 기반의 기존 설비 개조 및 공정 개선 모듈

PERFORMANCE Manifold Hole 위치 및 기울어짐 측정, Manifold의 정보 (Size 등) 출력 기능, PLC 통신으로 Seq. 구성

Taping Inspection

전기 자동차의 베터리 셀 검사 장비, 셀의 Taping 상태 확인 및 불량 검출, Line Camera를 사용한 이미지 측정

PERFORMANCE PLC 통신으로 Sequence 구성, User Set기능으로 베터리 셀에 붙어 있는 Tape의 모서리 찢어짐 검출, User Set기능으로 베터리 셀에 붙어 있는 Tape의 들뜸 검출

Solar Cell Size Inspection

태양광 패널 Cell 크기 검사 System, 화면 내 모든 Cell 동시 측정, 결과 Data를 Exel File로 저장 가능

PERFORMANCE 0.001mm 단위 측정 가능, 동시 측정으로 인한 측정 시간 단축, Calibration을 통한 자동 보정 기능 탑재, 실시간 OK NG 확인 가능